Namlik toza xonalarning ishlashida keng tarqalgan ekologik nazorat shartidir. Yarimo'tkazgichli toza xonada nisbiy namlikning maqsadli qiymati 30 dan 50% gacha bo'lishi uchun nazorat qilinadi, bu xato tor diapazonda ± 1% bo'lishiga imkon beradi, masalan, fotolitografik maydon - yoki uzoq ultrabinafsha nurlarini qayta ishlash (DUV) hududida undan ham kichikroq. – Boshqa joylarda siz ±5% gacha dam olishingiz mumkin.
Chunki nisbiy namlik toza xonaning umumiy ishlashiga hissa qo'shishi mumkin bo'lgan bir qator omillarga ega, jumladan:
● bakteriyalarning ko'payishi;
● Xona haroratida xodimlar his qiladigan qulaylik diapazoni;
● Statik zaryad paydo bo'ladi;
● metall korroziyasi;
● suv bug'ining kondensatsiyasi;
● litografiyaning buzilishi;
● Suvni yutish.
Bakteriyalar va boshqa biologik ifloslantiruvchi moddalar (mog'or, viruslar, zamburug'lar, oqadilar) nisbiy namlik 60% dan yuqori bo'lgan muhitda faol ravishda ko'payishi mumkin. Ba'zi flora nisbiy namlik 30% dan oshganda o'sishi mumkin. Nisbiy namlik 40% dan 60% gacha bo'lganida, bakteriyalar va respirator infektsiyalarning ta'sirini kamaytirish mumkin.
40% dan 60% gacha bo'lgan nisbiy namlik ham odamlar o'zlarini qulay his qiladigan oddiy diapazondir. Haddan tashqari namlik odamlarni depressiyaga olib kelishi mumkin, 30% dan past namlik esa odamlarda quruqlik, yorilish, nafas olish va hissiy noqulayliklarni his qilishi mumkin.
Yuqori namlik, aslida, toza xonaning yuzasida statik zaryadning to'planishini kamaytiradi - bu kerakli natijadir. Pastroq namlik zaryad to'planishi va elektrostatik zaryadsizlanishning potentsial zarar manbai uchun ko'proq mos keladi. Nisbiy namlik 50% dan oshganda, statik zaryad tez tarqala boshlaydi, lekin nisbiy namlik 30% dan kam bo'lsa, ular izolyatorda yoki tuproqsiz sirtda uzoq vaqt turishi mumkin.
35% dan 40% gacha bo'lgan nisbiy namlik qoniqarli murosa bo'lishi mumkin va yarimo'tkazgichli toza xonalar odatda statik zaryadning to'planishini cheklash uchun qo'shimcha boshqaruv vositalaridan foydalanadi.
Ko'pgina kimyoviy reaktsiyalarning tezligi, shu jumladan korroziya jarayoni, nisbiy namlik ortishi bilan ortadi. Toza xonani o'rab turgan havoga ta'sir qiladigan barcha sirtlar tezda kamida bitta suv qatlami bilan qoplanadi. Ushbu sirtlar suv bilan reaksiyaga kirishadigan nozik metall qoplamadan iborat bo'lsa, yuqori namlik reaktsiyani tezlashtirishi mumkin. Yaxshiyamki, alyuminiy kabi ba'zi metallar suv bilan himoya oksidi hosil qilishi va keyingi oksidlanish reaktsiyalarini oldini olishi mumkin; ammo boshqa holat, masalan, mis oksidi, himoya qilmaydi, shuning uchun yuqori namlikli muhitda mis sirtlari korroziyaga ko'proq moyil bo'ladi.
Bundan tashqari, yuqori nisbiy namlik muhitida, fotorezist namlikning so'rilishi tufayli pishirish tsiklidan keyin kengayadi va og'irlashadi. Fotorezistning yopishqoqligi yuqori nisbiy namlikdan ham salbiy ta'sir ko'rsatishi mumkin; pastroq nisbiy namlik (taxminan 30%), hatto polimer modifikatoriga ehtiyoj sezmasdan ham, fotorezistning yopishishini osonlashtiradi.
Yarimo'tkazgichli toza xonada nisbiy namlikni nazorat qilish o'zboshimchalik bilan emas. Biroq, vaqt o'zgarganda, umumiy, umumiy qabul qilingan amaliyotlarning sabablari va asoslarini ko'rib chiqish yaxshiroqdir.
Namlik bizning insoniy qulayligimiz uchun ayniqsa sezilmasligi mumkin, lekin u ko'pincha ishlab chiqarish jarayoniga katta ta'sir ko'rsatadi, ayniqsa namlik yuqori bo'lgan joylarda va namlik ko'pincha eng yomon nazorat hisoblanadi, shuning uchun toza xonaning harorati va namligini nazorat qilishda namlik afzallik beriladi.
Yuborilgan vaqt: 2020 yil 01-sentabr